半导体芯片加工废水怎么处理|半导体芯片加工废水如何处理
内容游戏背景
该光电器件的企业坐落于长江三角形的地区,大部分出产844英寸和1244英寸晶圆,日排污废排水量约2000吨。主要是因为出产加工更复杂,废泥中含多重难光降解生产物和天价属铝离子,过去的加工处理工艺得以满意必将要严的排污要求。
工业废水基本成分及主要来源
污生产生活污水 处理方法处理技术主要取决于十二个教学环节:晶圆裁切污生产生活污水 处理方法处理技术有海量硅粉和裁切液残余;催化机械厂打磨抛光污生产生活污水 处理方法处理技术丰富固体硅和打磨顆粒;刻蚀洗掉污生产生活污水 处理方法处理技术有氟化物、铜阴离子等巨资属;光刻技术污生产生活污水 处理方法处理技术则有光阻剂等巧妙污染破坏物。水质量优点是COD高(800-1500mg/L)、氟化物氨水浓度高(200-400mg/L)、漂浮物多且有进样器巨资属。
工作工艺环节环节
采取"物理化学预治疗+生化学治疗+纵深治疗"的组和工艺设计:
缓解池均衡教育水污染容量
水泥混凝土沉积我们要除悬浮物物和溶液物
化学物质凝固法专业书籍处里氟化物,加药钙盐形成了氟化钙凝固
淀粉水解硝化作用池加强废液可生物化学性
接触到氧化物池溶解有机肥料空气污染源
活性氧炭树脂吸附塔开展深层处理
膜拆分设备保证溢水水环境稳定性高
应对含铜废渣一个人安装铝离子交流软件,收售有价值观的彩石铜。
终结郊果
建设项目完工后运动稳定的,出液COD<50mg/L,氟化物渗透压<5mg/L,铜阴离子渗透压<0.3mg/L,一项质量指标均远远高于国家《光学工业企业水感染物的排出标》(GB 39731-2020)。次年可以减少COD的排出约300吨,氟化物的排出约50吨,利用铜金属材质约2吨,保持了条件成效与市场经济成效的合作共赢。