某半导体行业研发制造业企业因晶圆洁净工步引起含氨废水鑫霖环保，蓄水量200吨/天。废水鑫霖环保中除氧化还原电位外还包含的氟化物和微量分析巨资属，加工难易大。位置废气排放标规定氧化还原电位＜5mg/L，氟化物＜3mg/L。 化工废水组成成分及收入 晶圆清洁废污水（主要源）：含挥发酚200-300mg/L，氟化物50-80mg/L 刻蚀工艺技术生产废水：含进样器铜、镍等高价属，pH值下跌大 CMP研磨设备污废水 ：含硅科粒及高锰酸盐指数 补救工艺设备程序 分为"电学悠长岁月中+膜剥离+折点氯化"乐队组合工艺设计： 预正确处理 ：添加CaCl2除氟，把握pH在7.5-8. 超滤膜操作系统 ：去掉0.01μm上颗粒状物 反参透精浓 ：将氯离子浓缩造成至1000mg/L之上 折点氯化 ：透彻设定氯加药量，将氯离子转化成为氦气 铁离子对调 ：安全保障天价属考核标准 后面功效 氧化还原电位固定＜3mg/L，氟化物＜1mg/L 血本属的含量高于检侧限 水使用率达75% 活性污泥行成量减轻40%