某半导电子器件制造出厂在晶圆精加工步骤中，采用硅烷来硅外延性衍生，废气洗洁塔带来高含磷量含硅废渣。废渣具备着pH震荡大（2-11）、硅含磷量高的显著特点，普通补救方式易冒出硅垢赌塞现象。 工业废水有效成分及来源地 电镀废水具体因素为： 溶解出来性硅酸盐 ：SiO₂氧浓度达1000-1500mg/L 硫酸钠/氢被氧化钠 ：清洗塔腐蚀性清洗液残余物 颗粒剂硅 ：納米级SiO₂固体 痕量砷 ：成分残渣带进 操作工艺方法方法 创新技术主要采用"多级中合+膜过滤水+减压蒸馏晶体"艺： 两级采和 ：用CaO调结pH至4-5，出现硅酸钙沉淀物中，硅取除率60%。 两级中合 ：加Na₂CO₃将pH加强至9，进一大步发展剩的硅，串连用镁剂除砷。 超滤膜模式 ：0.02μm陶瓷图片膜净化納米级硅科粒，通量安全稳定在80LMH。 MVR化掉器 ：浓缩液高盐污废水 ，心得出Na₂SO₄副货品，水循环率超90%。 决定性实际效果 总硅从1500mg/L减至5mg/L下面的 砷纯度从0.8mg/L减至0.01mg/L 平台无结渣自动运行超2年 每季度收购 盐酸钠单晶体约800吨