该厂为8厘米晶圆种植线服务设施的超软水设计,整天产生含硅废污水150吨。废污水里面虽无巨资属,但硅含量高易结渣,且电阻器率需高于18MΩ·cm方能回收。和原有清工院艺未能要求新发布的《手机实业水污染源物的进行排放原则》(GB39731-2020)尤其的进行排放允许值。
废水处理材料显著特点
其主要污染破坏物
:固体硅(200-300mg/L)、颗粒剂硅(颗粒直径0.1-1μm)
异常标准要求
:TOC<10μg/L,硼水平<5μg/L
生活饮用水基本特性
:低纯水电导率(<50μS/cm)但硅有机物性状麻烦
处理加工制作工艺 具体流程
企业创新选择"梯级膜离心分离+电去亚铁离子"组成加工过程:
微滤预加工
:1μm卫浴陶瓷膜拦住大粒状硅,通量保持80LMH
铁离子传递硅橡胶
:D201大孔树脂胶抉择性吸附性硅酸碳原子
2级RO设备
:独一段收旧率60%,2段选取高脱硼膜器件
EDI电去铁离子
:电压电流密度单位2A/m²,连续的还原稳定度亚铁离子
UV紫外线消毒
:254nmUV太阳辐射线药量40mJ/cm²
系统亮点纷呈
开放专业阻硅剂(有机会胺类塑料物),廷迟膜弄脏时间是3倍
EDI传感器去创新流道设计,硅我们要除率提高了至99.8%
一直在线硅研究检测仪(量测的范围0.1-500μg/L)确保识贫调整
加载效果
经其几方面检查测量:
总硅从280mg/L降下来0.05mg/L
硼占比从8μg/L降下来0.3μg/L
操作系统回收并率从原40%不断提升至68%
膜更換寿命增加至5年,年运营成本低缩减35%