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硅片清洗废水处理案例|硅片清洗废水处理方法

该厂为8厘米晶圆种植线服务设施的超软水设计,整天产生含硅废污水150吨。废污水里面虽无巨资属,但硅含量高易结渣,且电阻器率需高于18MΩ·cm方能回收。和原有清工院艺未能要求新发布的《手机实业水污染源物的进行排放原则》(GB39731-2020)尤其的进行排放允许值。 废水处理材料显著特点 其主要污染破坏物 :固体硅(200-300mg/L)、颗粒剂硅(颗粒直径0.1-1μm) 异常标准要求 :TOC<10μg/L,硼水平<5μg/L 生活饮用水基本特性 :低纯水电导率(<50μS/cm)但硅有机物性状麻烦 处理加工制作工艺 具体流程 企业创新选择"梯级膜离心分离+电去亚铁离子"组成加工过程: 微滤预加工 :1μm卫浴陶瓷膜拦住大粒状硅,通量保持80LMH 铁离子传递硅橡胶 :D201大孔树脂胶抉择性吸附性硅酸碳原子 2级RO设备 :独一段收旧率60%,2段选取高脱硼膜器件 EDI电去铁离子 :电压电流密度单位2A/m²,连续的还原稳定度亚铁离子 UV紫外线消毒 :254nmUV太阳辐射线药量40mJ/cm² 系统亮点纷呈 开放专业阻硅剂(有机会胺类塑料物),廷迟膜弄脏时间是3倍 EDI传感器去创新流道设计,硅我们要除率提高了至99.8% 一直在线硅研究检测仪(量测的范围0.1-500μg/L)确保识贫调整 加载效果 经其几方面检查测量: 总硅从280mg/L降下来0.05mg/L 硼占比从8μg/L降下来0.3μg/L 操作系统回收并率从原40%不断提升至68% 膜更換寿命增加至5年,年运营成本低缩减35%

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