华南地区某8.5代lcd显示器表面板产量线,在产量进程中食用电子器件级磷酸来进行破璃基材蚀刻,每一天生成约200m³高氧化还原电位含磷污废水 。内容需求实现了90%循环率,且循环水质准则需提升超蒸馏水准则(功率电阻率≥18MΩ·cm)。
废水处理物质及种类
废污水常见可分为三类:第一是高氧浓硫酸浓度废酸液(磷酸分量约10-15%),出自蚀刻机期限换的残液;二低氧浓硫酸浓度清扫冲洗废污水(磷酸0.5-1.5%)。废污水的特点:温较高(40-45℃),含有轻微锡、钼等废金属溶物,TDS约5000-8000mg/L。
清理工艺设备标准流程
去创新选取"分类整理收回+物资收回+膜一体化"生产工艺风格:
废酸收回操作系统
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缓压蒸溜配置回收公司85%大于磷酸
冷却水水進入随后外理
低溶度废气治疗线
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中合反映池(NaOH上下调整pH至6.5-7.5)
管式微滤膜(我们要除漂浮物)
反融入设计(七级RO出售率75%)
电去铝离子系统设计(EDI精清理)
浓水处理工艺摸块
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物理化学晶粒除磷(产生鸟粪石沉淀物)
蒸发掉器决定性减轻化
决定性治疗效果
大型项目保证磷酸收售率85%,每日一 再造网上级磷酸约3.5吨;水回收利用率现实的到达92%,回收利用水功率电阻率增强在18.2MΩ·cm大于。与过去的外理具体方法相对,年节省制剂直接费用280万的大写,变少危险废物导致量6000吨/年。设计自動化层次高,仅需两个人轮班值班制度。